製品紹介

特殊パルス電源

DLC用電源

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 DLC用電源

概要

 真空とプラズマを利用し、様々の材料に薄膜や改質層を成形し、付加価値を高めるDLC(Diamond-Like Carbon)成膜装置に使われる電源です。
DLC成膜（コーティング）は、高周波の高電圧パルスを印加してプラズマを発生させるため、電源やスイッチング素子にとっては過酷な条件となります。そのような環境でも、耐久性、信頼性を兼ね備えたパルス電源を供給いたします。

用途

 DLC（Diamond-Like Carbon）成膜用：高硬度化、低摩擦化、耐食性

特長

 弊社独自の高電圧パルス回路技術により、高寿命、高信頼性、高耐久性を実現。
各種成膜仕様に合わせたカスタム電源を提供いたします。
高速パルスの電圧、繰返し周波数、パルス幅を可変させることができ、微妙な成膜コーティングの仕上りを調整できるようにしております。

仕様

 ＜納入事例＞
①30kWp仕様
電圧 ～-3kVp～ｰ10kVp
電流 3Ap(10kVp） 10Ap(3kVp)
繰り返し 1k～10kHz
パルス幅 1～10μs
立上り 0.1μs
立下り 2μs
出力制御 定電圧定電流制御
②60kWp仕様　
電圧 ～-3kVp～ｰ15kVp
電流 4Ap(-15kVp） 20Ap(-3kVp)
繰り返し 1k～10kHz
パルス幅 1～10μs
立上り 0.2μs
立下り 2μs
出力制御 定電圧定電流制御